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flystone

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楼主发表于: 2015-12-20 18:11

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Ultraclean surface processing of silicon wafers : secrets of VLSI manufacturing +300YYB

Title: Ultraclean surface processing of silicon wafers : secrets of VLSI manufacturing / Takeshi Hattori (ed.)
Author: Takeshi Hattori 1945-
Subjects: Semiconductor wafers -- Cleaning; Silicon -- Surfaces; Surface preparation
Publisher: Berlin ; New York : Springer
Publication Date: c1998
Description: xxviii, 616 p. : ill. ; 24 cm..
Language: English
IN/ISSN: IN3540616721 (alk. paper)

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charles5410

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1楼发表于: 2015-12-21 02:41

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Re:Ultraclean surface processing of silicon wafers : secrets of VLSI manufacturing +300YY

引用
引用楼主flystone于2015-12-20 18:11发表的 Ultraclean surface processing of silicon wafers : secrets of VLSI manufacturing +300YYB :
Title: Ultraclean surface processing of silicon wafers : secrets of VLSI manufacturing / Takeshi Hattori (ed.)
Author: Takeshi Hattori 1945-
Subjects: Semiconductor wafers -- Cleaning; Silicon -- Surfaces; Surface preparation
Publisher: Berlin ; New York : Springer
Publication Date: c1998
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认领！！！！！！！

国在山河破

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