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楼主  发表于: 2017-07-08 20:55
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 Analysis of silicon via hole drilling for wafer level chip stacking by UV laser

【作者】Young-Hyun Lee
    【文章标题】ysis of silicon via hole drilling for wafer level chip stacking by UV laser

    【期刊名，年份，卷（期），起止页*****】International Journal of Precision Engineering and Manufacturing
August 2010, Volume 11, Issue 4, pp 501–507
    【全文链接】https://link.springer.com/article/10.1007/s12541-010-0055-7
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